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真空泵機組，是以羅茨真空泵為主泵，螺桿真空泵為前級泵的抽氣系統，此機組過流部分沒有任何液體作工作液，壓力不受水溫影響，對被抽工藝氣體不產生二次污染，便于排出氣體的回收。
由于螺桿真空機組具有大抽氣量、高真空度、環保節能的優點，是目前國際上光為應用的真空設備。
主要技術參數:
|
規格型號 技術參數 |
JZSP70-2 |
JZSP150-2 |
JZSP300-2 |
JZSP600-2 |
JZSP1200-4.2 |
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抽氣速率（L/S） |
70 |
150 |
300 |
600 |
1200 |
|
壓力(Pa) |
﹤0.5 |
﹤0.5 |
﹤0.5 |
﹤0.5 |
﹤0.1 |
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前級泵 |
SP-30 |
SP-70 |
SP-180 |
SP-180/300 |
ZJY300/SP180 |
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主泵 |
ZJ70 |
ZJY150 |
ZJY300 |
ZJY600 |
ZJY1200 |
|
電機功率（KW） |
5.1 |
9.7 |
22.5 |
24/35.5 |
33.5/45 |
|
進口通徑(mm) |
80 |
100 |
150 |
200 |
250 |
|
出口通徑(mm) |
40 |
50 |
65 |
65/85 |
65 |
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備案號：魯ICP備19031383號-1